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420J2不锈钢应用 | 半导体行业的Wafer Ring

  今天420J2不锈钢厂家无锡佳创和大家分享下不锈钢的一个应用,那就是晶圆环。

  晶圆环的另一个称呼是Wafer Ring,是半导体行业经常用到的一个备件耗材。

  

 

  按照外径,晶圆环分成6英寸、8英寸、12英寸等常见的尺寸,也有定制的10英寸。420J2不锈钢厂家无锡中兴溢德给大家看一下晶圆环是长什么样子的。

  

 

  420J2不锈钢厂家无锡中兴溢德告诉大家决定晶圆环质量优劣的两个重要方面是原材料和加工工艺。

  首先我们来讲讲原材料选择。现在市面上晶圆环用的不锈钢原材料有两个材质,分别是304不锈钢和420J2不锈钢。

  相信大家对304不锈钢都很熟悉,因为在日常生活中随处可见,比如不锈钢餐具,电热水壶,水龙头,厨房水槽等等。304不锈钢是一种通用性(应用领域极为广泛)的奥氏体不锈钢。420J2不锈钢是马氏体不锈钢,具有一定耐磨性及抗腐蚀性,硬度较高等特点,可以通过热处理来增加其钢种的硬度,而304不锈钢不能。

  晶圆环在使用过程中需要频繁扩张挤压,不锈钢材质硬度一定要达到50~55HRC。304不锈钢虽然可以通过适当增加厚度来提高硬度,但是制成后的晶圆环受力后依然会形变导致弯折,使其使用寿命低。市面上的晶圆环价格比较便宜,但是采购频率大幅提高,最终还是由客户来承担成本费用。所以304不锈钢不太合适用在晶圆环。

  其次是加工工艺,晶圆环切割成型后需要进行热处理来增加硬度,另外晶圆环表面需要进行抛光、亚光、镀镍等特殊工艺处理,这样生产出来的晶圆环才具有良好的粘性,也能长期保持洁净光亮。市面上低价的晶圆环只有抛光一道工艺在做,在使用过程中就会出现晶圆环表面容易划伤、氧化发暗等,直接影响膜和环的粘附效果,缩短了晶圆环的使用寿命。

  

 

  (图片来源网络)

  最后也和大家分享下晶圆环的鉴别方法:

  一看:看外观色泽,晶圆环通过表面一系列处理后,色泽光亮,表面无任何划痕,四周打磨光滑;

  二摸:用手在晶圆环的四周来回触摸,确认下是否光滑;

  三掰:找任何一边,双手往一侧用力掰,松开双手后晶圆环形变是否恢复正常,如果形变无法恢复,那就说明材质有问题或热处理工艺没做好。

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